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CVD技術 - 化学真空蒸着

機能性コーティング

  • PECVDでコーティングされたSiOxは、透明であり、優れたバリアー性、リサイクル可能、FDA認定、環境に優しい、電子レンジで使用可能といった特徴を備えています。

スケーラブル

  • コーティングモジュールを余分に追加することで、より厚みのあるSiOxコーティングをより高速で適用できるようになります。低真空要件のため、所要時間が短くて済みます。

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