Tecnologia CVD – Deposizione di elementi chimici in fase di vapore
| Materiali lavorati (1) | |||
| Film | 12 a 50 micron | ||
| Capacità | |||
| Larghezza nastro | 1350 a 2000 mm 53.1 a 78,7 in | ||
| Velocità | max. | 100 m/min 328 ft/min | |
| Diametro bobina | 1'000 mm 39,4 in | ||
| Produzione annuale | 1800 t 1984 US ton | ||
| Dimensioni e peso | |||
| Lunghezza | 18 m 59 ft | ||
| Larghezza | 18 m 59 ft | ||
| Altezza | 5, 3 m 17 ft | ||
| Peso netto | 80 t 88 US ton | ||
| Installazione | |||
| Carico elettrico connesso | 400 kVA | ||
| Consumo di acqua | 75 m3/h 330,2 US gal/min | ||
(1) A seconda delle proprietà del materiale
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