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通用CVD技术 - 化学汽相淀积

功能性涂层

  • 经PECVD涂布的SiOx是透明、高防护、可回收、环保的、适用微波的。

可定标的

  • 增加的额外涂布模块允许采用更高的速度或更厚的SiOx涂层。低真空要求意味着快速的周转时间。

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